Enduction centrifuge

Description

Système permettant de réaliser des films minces précis et uniformes, sans défauts, sur des substrats et des plaquettes. Le système comprend un distributeur de précision et une centrifugeuse.

Caractéristiques techniques

• Vitesse de rotation : Jusqu'à 12,000 tours/min
• Taille de pièce : Jusqu'à 150 mm (6″) de diamètre pour les pièces rondes et jusqu'à 127 mm x 127 mm (5″x5″) pour les carrés, et de formes irrégulières